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生产四氟化硅的方法

来源:宝玛科技网
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明

(21)申请号 CN201611206327.X (22)申请日 2010.12.18 (71)申请人 各星有限公司

地址 中国九龙柯士甸道西1号环球贸易广场17楼

(10)申请公布号 CN106587074B

(43)申请公布日 2019.03.08

(72)发明人 S·布萨拉普;P·古普塔 (74)专利代理机构 北京市中咨律师事务所

代理人 彭飞

(51)Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

生产四氟化硅的方法

(57)摘要

本发明涉及生产四氟化硅的方法,其中任

选在硅源存在下酸消解碱金属或碱土金属和铝的氟化物盐;本发明还涉及生产硅烷的方法,包括酸消解硅烷生产的副产物以产生四氟化硅。

法律状态

法律状态公告日

2017-04-26 2017-04-26

公开 公开

法律状态信息

公开 公开

法律状态

法律状态公告日

2017-04-26 2017-05-24 2017-05-24 2017-05-24 2019-01-01 2019-01-01 2019-01-01 2019-01-01 2019-03-08

法律状态信息

公开

实质审查的生效 实质审查的生效 实质审查的生效

专利申请权、专利权的转移 著录事项变更

专利申请权、专利权的转移 著录事项变更 授权

法律状态

公开

实质审查的生效 实质审查的生效 实质审查的生效

专利申请权、专利权的转移 著录事项变更

专利申请权、专利权的转移 著录事项变更 授权

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