专利名称：含碘的光酸产生剂和包括其的组合物专利类型：发明专利发明人：E·阿卡德,J·W·萨克莱申请号：CN201811308872.9申请日：20181105公开号：CN109809961A公开日：20190528
摘要：一种光酸产生剂化合物，其具有式(I)：其中，在式(I)中，基团和变量与本说明书中所描述的基团和变量相同。
申请人：罗门哈斯电子材料有限责任公司
地址：美国马萨诸塞州
国籍：US
代理机构：上海专利商标事务所有限公司
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