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专利名称：基板处理系统、基板处理方法以及存储介质专利类型：发明专利
发明人：平田俊治,片田洋介,松桥孝文,鹰野国夫,中岛孝一申请号：CN201910615875.5申请日：20190709公开号：CN110707019A公开日：20200117
摘要：本发明提供一种基板处理系统、基板处理方法以及存储介质，在向分别进行规定的处理的多个处理模块依次顺序地搬送多个基板并对基板实施处理的处理系统中，在处理中途发生了错误的情况下抑制不良基板的产生。基板处理系统具备：具有第一搬送装置和多个处理模块的处理部；具有第二搬送装置和保持基板收容容器的装载埠的搬出搬入部；以及控制部。控制部进行控制，使得多个基板被依次顺序地搬送到多个处理模块，且控制部进行控制，使得在某个处理模块中发生了错误时执行以下工序：将从基板收容容器搬出的未处理的基板进行回收；继续对先行基板进行处理；使错误基板从该处理模块退避；以及继续对发生了错误的处理模块之前的后续基板进行处理。
申请人：东京毅力科创株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：刘新宇
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