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专利名称：压力传感器件及其制作方法专利类型：发明专利发明人：陈敏,马清杰
申请号：CN201310597815.8申请日：20131122公开号：CN1038372A公开日：20140604
摘要：本发明涉及一种压力传感器件及其制作方法，该器件包括：包括芯片和基座，所述芯片固定连接于所述基座的内部；所述芯片包括一内部中间设有一空腔和两端设有通孔的正面玻璃、一中间层和一中间设置有一背面通孔的背面玻璃，所述中间层的上、下表面分别与所述正面玻璃的下表面以及背面玻璃的上表面键合；所述中间层由下至上依次包括第二体硅层、第二绝缘层、电阻层、第三绝缘层；在所述第三绝缘层和所述电阻层的区域中形成有压阻；在所述第二体硅层中位于所述压阻下方的部分形成有承压膜和质量块。本发明的压力传感器件能够在极端温度条件下正常使用。
申请人：中航(重庆)微电子有限公司
地址：401331 重庆市沙坪坝区西永镇西永路367号四楼
国籍：CN
代理机构：上海申新律师事务所
代理人：竺路玲
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