梳齿式体硅加工微机械加速度计

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN02103612.8 （22）申请日 2002.01.29 （71）申请人 清华大学

地址 100084 北京100084-82信箱

（10）申请公布号 CN1139815C （43）申请公布日 2004.02.25

（72）发明人 高钟毓;王永梁;董景新;张嵘;赵长德;曹志锦;袁光;马新龙 （74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

G01P15/125;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

梳齿式体硅加工微机械加速度计

（57）摘要

一种梳齿式体硅加工微机械加速度计

属于惯性仪表领域，其结构包括由体加工形成的齿枢、多组动齿和折叠梁组构成的敏感质量元件、定齿偏置的固定齿和基片，电路包括微电容检测、力反馈伺服电路等部分。本发明将面加工梳齿结构通过定齿偏置结构等发展成体加工梳齿结构，增大了检测和加力电容，从而使分辨率和精度大大提高。此外，前置放大器采用低输入阻抗电路，闭环反馈加力采用差动直流电压方式，使仪表达

到了较高的精度。 法律状态

法律状态公告日

2002-05-01 2002-07-17 2004-02-25 2014-03-26

法律状态信息

实质审查的生效

公开 授权 专利权的终止

法律状态

实质审查的生效

公开 授权

专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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