表面粗糙度测量仪测量不确定度评定

发表时间：2018-08-21T13:06:42.423Z 来源：《电力设备》2018年第14期 作者： 王力

[导读] 摘要：表面粗糙度仪广泛应用于各种金属与非金属的加工表面的检测除机械加工制造外，电力、通讯、电子，如集成电路半导体等生产加工过程中也需粗糙度的评定，甚至人们生活中使用的文具、餐具、人的牙齿表面都要用到表面粗糙度的检验。 （陕西省计量科学研究院 陕西西安 710065）

Measurement uncertainty assessment for Surface roughness measuring instrument wang li

摘要：表面粗糙度仪广泛应用于各种金属与非金属的加工表面的检测除机械加工制造外，电力、通讯、电子，如集成电路半导体等生产加工过程中也需粗糙度的评定，甚至人们生活中使用的文具、餐具、人的牙齿表面都要用到表面粗糙度的检验。

1测量方法

用触针式表面粗糙度测量仪对一组多刻线标准样板进行测量，再将得到的测量值与多刻线标准样板检定证书上给出的值相比较，得到相应条件下的仪器示值误差。 2 测量模型 2.1数学模型:

2.4重复性实测记录及计算

3标准不确定度分量的评定

3.1标准样板检定引入的标准不确定度u1

4合成标准不确定度

参考文献:

1 JJF1001-2011《通用计量术语及定义》

2 JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》

3 费业泰《误差理论与数据处理》机械工业出版社 4 张帆 《互换性与几何量测量技术》西安电子科技大学出版社

作者介绍：王力，男，助理工程师。工作单位：陕西省计量科学院研究院。通讯地址：710065 陕西省西安市东仪路3号。