专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种多晶硅铸锭用氮化硅涂层的制备方法专利类型：发明专利发明人：张嵘,刘久明
申请号：CN201610932533.2申请日：20161101公开号：CN1000109A公开日：20170215
摘要：本发明涉及一种多晶硅铸锭用氮化硅涂层的制备方法，其制备方法如下：（1）喷涂浆料的制备：首先将一定质量的氮化硅粉体加入到超纯水中，搅拌得到均匀的氮化硅浆液；然后将硅溶胶加入到所述氮化硅浆液中，继续搅拌均匀制得喷涂浆料；（2）刷涂浆料的制备：首先量取一定量的步骤（1）所述喷涂浆料用作刷涂浆料前驱体，然后加入超纯水，搅拌均匀制得刷涂浆料；（3）氮化硅涂层的制备：首先将刷涂浆料均匀地刷涂在坩埚内表面上，待水分蒸发后再将喷涂浆料均匀喷涂到坩埚内表面上。本发明制备的氮化硅涂层隔绝性能相对现有技术更好，可以有效提高硅锭的收益率，适合多晶硅铸锭工业规模化应用。
申请人：河北正雍新材料科技有限公司
地址：050000 河北省石家庄市桥西区新石北路368号金石园区4号楼东门302室
国籍：CN
更多信息请下载全文后查看
