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一种新型GaN基LED外延层结构及其制备方法[发明专利]

来源:宝玛科技网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种新型GaN基LED外延层结构及其制备方法专利类型:发明专利

发明人:左万胜,韩昌坤,张成旺申请号:CN201910166132.4申请日:20190306公开号:CN109888071A公开日:20190614

摘要:本发明提供一种新型GaN基LED外延层结构及其制备方法,相较于传统二级管外延层结构,其N型掺杂GaN层与MQW之间插入应力释放层;通过生长高温GaN层、AlGaN层、多周期InAlN/AlN超晶结构层、AlGaN层和低温GaN层组成的应力释放层,有效阻档电子的溢流,增加电子与空穴的辐射复合,提高LED的内量子效率和光的输出功率,可明显减少MQW循环数,从而提升整个器件质量;同时该层Si的浓度高低掺方式,可提高器件的ESD性能。

申请人:聚灿光电科技(宿迁)有限公司

地址:223800 江苏省宿迁市宿迁经济技术开发区东吴路南侧

国籍:CN

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