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专利名称:半导造厂厂区的配置形态专利类型:发明专利发明人:李珩铭
申请号:CN02124363.8申请日:20020612公开号:CN14157A公开日:20031231
摘要:一种半导造厂厂区的配置形态,它包含七个主要区域:正六边形区域、周边左右四个等角六边形区域以及周边上下两个可与邻近六边形相契合的梯形区域。该配置形态可将与物流最相关的制程区置于厂区并可藉由各区域间以最短的直线距离来规划区间的自动化物料搬运系统以联系各区内的暂存区,进而有效提升物料搬运的效率。此外,可针对各制程区在面积上的需求、不同数量规模的机台设备群组的布置等需求进行弹性规划以提升整体面积的利用率。此外,可满足区内机台设备在环境上以及功态上的需求并具有益于集中管理与控制。此外,这种配置形态还可简化建筑结构在施工上的难度,并可强化建筑结构的抗震性与稳定性。
申请人:李珩铭
地址:省台北市康宁路3段1巷159弄9号4楼
国籍:CN
代理机构:上海专利商标事务所
代理人:任永武
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