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专利名称：用于超高精度凹非球面检测的补偿器光学系统专利类型：发明专利
发明人：王丽萍,张海涛,马冬梅申请号：CN201510960082.9申请日：20151221公开号：CN105445931A公开日：20160330
摘要：用于超高精度凹非球面检测的补偿器光学系统，涉及一种光学系统，解决现有补偿器光学系统由于引入非共光路测量误差，而导致非球面面形检测精度低的问题，包括透射组、补偿组和待检非球面凹镜，所述透射组透射球面波，补偿组将透射组提供的球面波转化为与待检非球面凹镜匹配的非球面波；所述透射组的F/#为3.1，补偿组的F/#为3.7，待检非球面凹镜的F/#为1.8。本发明所述的补偿器光学系统减轻了补偿器设计难度，降低了补偿器加工装配难度，减少误差因素以提升检测精度，本发明所述的方法相对于超高精度非球面凹镜检测，能够提供相应的满足剩余波像差要求的补偿器。
申请人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
地址：130033 吉林春市东南湖大路3888号
国籍：CN
代理机构：长春菁华专利商标代理事务所
代理人：朱红玲
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