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专利名称:一种单晶炉用加热器专利类型:实用新型专利
发明人:梁宇飞,张红霞,王建平,樊国庆,陈培杰,武皓洋,徐强,
王林
申请号:CN201920958601.1申请日:20190625公开号:CN210636093U公开日:20200529
摘要:本实用新型提供一种单晶炉用加热器,包括主加热部、副加热部和底加热部,副加热部与主加热部并行设置且位于主加热部下方,副加热部包括对称设置的第一副加热件和第二副加热件;底加热部与副加热部垂直设置且位于副加热部下端,底加热部包括对称设置的第一底加热件和第二底加热件;第一副加热件与第一底加热件并联连接形成一循环回路,第二副加热件与第二底加热件并联连接形成一循环回路;主加热部与副加热部之间设有第一间隙通道,副加热部与底加热部之间设有第二间隙通道。本实用新型尤其适于大尺寸热场,可保证热场温度均匀,提升石英坩埚和热场使用时间,降低生产成本,同时使单晶头部间隙氧含量降低,提高硅单晶质量,提高晶体成晶率。
申请人:内蒙古中环光伏材料有限公司
地址:010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号
国籍:CN
代理机构:天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人:栾志超
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