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专利名称：一种镜面平面度检测控制方法和装置专利类型：发明专利
发明人：徐丹,罗宏毅,陈锐,林正东,杨波,张亚夫申请号：CN202011503977.7申请日：20201218公开号：CN112710258A公开日：20210427
摘要：本发明涉及平面度检测技术领域，具体涉及一种镜面平面度检测控制方法和装置。该方法包括：调整平面镜的镜面的镜面方向至目标方向；控制激光干涉仪以初始方向为出光方向，沿镜面测量点序列移动，以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像；根据各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像，获得镜面的平整度检测结果。本发明在平面镜的镜面平面度检测中，考虑到平面镜在空间姿态下，自身重力以及安装位置的限位作用有可能会导致镜面存在微小变形，从而影响平面镜的平面精度，因此在测试中增加了平面镜的空间姿态的平面度检测，从而提高了镜面平面度的检测精度。
申请人：湖北三江航天红阳机电有限公司
地址：432000 湖北省孝感征路95号
国籍：CN
代理机构：北京众达德权知识产权代理有限公司
代理人：田丹
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