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专利名称:一种用于显示面板和半导体领域的水基型光刻胶剥
离液
专利类型:发明专利发明人:刘小勇,颜如彩,田博申请号:CN201910061476.9申请日:20190123公开号:CN109634071B公开日:20220412
摘要:本发明涉及一种用于显示面板和半导体领域的水基型光刻胶剥离液,包括25%‑40%的高沸点醇醚类水溶性有机溶剂,15%‑35%的酰胺类有机溶剂,5%‑15%的醇胺类化合物,2%‑8%的gemini型烷基糖苷类表面活性剂,0.1%‑5%缓蚀剂,10%‑40%的水。该水基型光刻胶剥离液组合物能有效提高剥离液的剥离速度和持久性,操作窗口大,同时能大大降低对基底和Cu金属的腐蚀作用;同时该表面活性剂具有很强的润湿、渗透性能,能有效提高剥离液的剥离性能,同时该表面活性剂存在一定的抗腐蚀性,与缓蚀剂形成能较好的协同作用,防止基底和Cu金属布线腐蚀的产生。
申请人:福建省佑达环保材料有限公司
地址:362100 福建省泉州市泉港区前黄镇驿峰西路499号
国籍:CN
代理机构:福州元创专利商标代理有限公司
代理人:蔡学俊
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