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专利名称：一种基于加载条形结构的非对称MZI光波导温度传
感器及其制备方法
专利类型：发明专利
发明人：张大明,牛东海,王希斌,许强,姜,王力磊申请号：CN201910507792.4申请日：20190612公开号：CN110082001A公开日：20190802
摘要：一种基于加载条形结构的非对称MZI光波导温度传感器及其制备方法，属于平面光波导传感器及其制备技术领域。从左至右，由输入直波导，3‑dB Y分支分束器，两条非对称参考臂和传感臂，3‑dB Y分支耦合器和输出直波导所构成；从下至上，参考臂和传感臂依次由硅片衬底、双波导凹槽结构的聚合物下包层、参考臂光波导芯层和传感臂光波导芯层、未曝光和曝光后的有机无机杂化材料平板、聚合物上包层组成。本发明可以通过光漂白传感臂表面的含有生色团分子的有机无机杂化材料使其折射率发生改变，进一步加大两干涉臂光传输时光模式场随环境改变的差异，加剧输出光强的改变，具有重要的实际应用价值。
申请人：吉林大学
地址：130012 吉林春市前进大街2699号
国籍：CN
代理机构：长春吉大专利代理有限责任公司
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