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专利名称：控制处理系统操作的方法专利类型：发明专利
发明人：J·R·史密斯,M·R·切尔尼亚克,N·J·吉宾斯申请号：CN200580018296.9申请日：20050603公开号：CN1965273A公开日：20070516
摘要：在一种控制处理系统操作的方法中，主机、处理工具和抽空系统的组件(例如，消解工具)被连接到系统总线。消解工具监测在系统总线上与主机和处理工具之间传送的信号和直接从处理工具接收的信号。消解工具使用包含在该监测信号内的信息来产生关于消解工具的工作特性的处理工具的信号。该信号或者直接或者在系统总线上被传送至处理工具，它使用所产生的信号来控制处理工具的操作状态。
申请人：英国氧气集团有限公司
地址：英国英格兰萨里郡
国籍：GB
代理机构：中国专利代理()有限公司
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