题主是否想询问“沟槽工艺晶元沟槽歪了怎么办”？
1、确认歪斜程度：首先，使用测量工具确认沟槽的歪斜程度。可以使用显微镜或者测量仪器进行精确的测量，以确定歪斜的具体情况。
2、去除污染：沟槽内有污染物，需要使用无尘布和清洁剂进行清洁。确保沟槽内没有任何杂质或者污染物，以免影响后续的操作。
3、修正歪斜：根据沟槽歪斜的程度，可以采用不同的修正方法。如果歪斜程度较小，可以使用研磨方法进行修正。如果歪斜程度较大，可能需要使用其他工具或者方法来修正。
4、研磨修正：沟槽歪斜程度较小，可以使用研磨方法进行修正。使用研磨剂和研磨工具对沟槽进行研磨，以修正歪斜部分。研磨过程中需要注意控制研磨力度和研磨时间，以免对沟槽造成过大的损伤。
